設備一覧

吉川工業アールエフセミコン株式会社では、ウエハテストからファイナルテスト、バックエンドまでの全て工程において お客様のニーズにあった豊富なラインナップにて、半導体業界の期待に応えています!

用途 メーカー 機種名 主な仕様
ロジック
テスタ
ADVANTEST T3347A 周波数=40MHz、I/O=256pin、2ST、STE=1MW、SBM=256MB、ALPG、ADC、IDDQ等オプション有
T6575 周波数=125MHz、I/O=512pin ADDA、IDDQ、SCAN、ALPG
T6577 周波数=125MHz、I/O=1024pin VAFG/D、BBWG/D、SCAN、ALPG
横河電機 TS6000 周波数=20MHz、I/O=512pin SCAN、ALPG
TS600 周波数=20MHz、I/O=512pin SCAN、ALPG
TS6000H(AL9740) 周波数=125MHz、I/O=512pin or 768pin SCAN、ALPG、DPSTH=8ch
安藤電気 AL9737 周波数=100MHz、I/O=512pin ALPG、SPU
用途 メーカー 機種名 主な仕様
メモリテスタ ADVANTEST T5377 周波数=143MHz/286MHz、PPS256/ST、DRV2048pin/ST、I/O1280pin/ST、LevelDRV256pin/ST、256同測/ST、FM128Gb
T5581H 周波数=125MHz/250MHz、PPS 64/ST、DRV960pin/ST、I/O576pin/ST、DC専用64pin/ST、64同測/ST、FMXXXGb
用途 メーカー 機種名 主な仕様
アナログテスタ
(ミックスドシグナル)
横河電機 TS1000 周波数=5MHz、I/O=96pin(中継BOX:48pin) TIM、HRG/D、UVI、WFG/D
ADVANTEST V93000 TH-Class:C 100/50MHz I/O=768pin DC=64ch  Wave Scale MX
HEWLETT PACKARD HP94000/9494/
9492B/9493B
周波数=32MHz、I/O=64/128pin AWG/DIGITIZER
シバソク WL25 Perpin DC : 512pin , 周波数=5MHz , 16同測 , HighPower V/I : ±60V,±10A
その他 YTEC S100 周波数=100MHZ、 I/O=512pin(最大) 4SLOT Type 128同測
  • LOGIC(PE:-2~7V、PPMU:-2~11.8V/±32mV、DPS:-1~15V/±0.7A、PMU:±10V/±500mA、TMU:200MHz/5ns~83ms)
  • MIP (LCPMU:±10V/±67mA、MCPMU:±40V/±1A、FTMU:1.6GHz/0.625ns~10s)
  • MIX (AWG:1MHz/250MHz、DIGITIZER:1MHz/100MHz)
  • HIP (HVPMU:±260V/±50mA、HCPMU:±40V/±10A、VHV:±800V/50mA)
ADVANTEST EVA100 周波数=100MHz、IO=64pin
モジュール構成 : GCMx16ch + AVIx24ch + SCAPx8ch + DMx64ch + LFx8ch + HFx4ch
用途 メーカー 機種名 主な仕様
プローバ 東京精密 UF190A/UF190B ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃   *インクマーク専用
UF190R ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃   *インクマーク専用
UF200 ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃ クリーニングユニットΦ5
UF200A ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃ クリーニングユニットΦ5
FP200A
通常ウェハ
ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” 50℃~150℃
個片ウェハ
フレーム2-6-1or2-8-1 温度制御無し
共通
クリーニングユニット200×90  クリーニングブラシ
UF3000 ウェハサイズΦ8”,Φ12” 50℃~150℃ or -40℃~150℃ クリーニングユニット150×150  クリーニングブラシ
UF3000EX-e ウェハサイズΦ8”,Φ12” -55℃ ~ 200℃ or -40℃~150℃ クリーニングユニット150×150  クリーニングブラシ
UF2000 ウェハサイズΦ5”,Φ6”,Φ8” -55℃~200℃ クリーニングユニット150×150  クリーニングブラシ
AP3000 ウェハサイズΦ8”,Φ12” -55℃ ~ 200℃  クリーニングユニット110×160  クリーニングブラシ
東京エレクトロン P-12XLn/P-12XLn+ ウェハサイズΦ8”,Φ12” 25℃~150℃ or
-40℃~150℃クリーニングユニット230×155
クリーニングブラシ
用途 メーカー 機種名 主な仕様
ハンドラ エプソン NS-8080 QFP/SOP/TSOP/PGA/BGA/PLCC/PGA/QFN:□3~□50(リードピッチ0.40mm~)
ソケットピッチ:8個測(40x60) 1,2,3,4個測:(80x60),(60x80),(60x60),(80x80)
常温制御無 高温制御(50℃~130℃±3℃)
スループット(8300UPH/8個測時besteffort)
NS-8080W QFP/SOP/TSOP/PGA/BGA/PLCC/PGA/QFN:□3~□50(リードピッチ0.40mm~)
ソケットピッチ:8個測(40x60 / 60x60) 1,2,3,4個測:(80x60),(60x80),(60x60),(80x80)
常温制御無 高温制御(50℃~130℃±3℃)
スループット(8200UPH/8個測時besteffort)
テセック HS2000 QFP/SOP/TSOP:□7~□32(4DUT時□7~□20)
BGA/QFN:□4~□20
ソケットピッチ:(80mm/2DUTinline) or (40mm/4DUTinline)
常温制御無 高温制御:50℃~100℃±3℃,100℃~125℃±5℃
9250-IH SOP(4.4mm幅)
ソケットピッチ:4個測(シュートピッチ:50mm / ステーションピッチ:80mm)
プラスチックスティック対象
高温設定(50℃~130℃±3℃)
アピックヤマダ A206x4 BGA/QFP/PLCC/LCC/SOP/SOJ/QFN:□3~□40(厚さ0.8mm~5mm/リードピッチ0.4mm~)
ソケットピッチ:1,2,4個測(横:55mm or 60mm or 73.66mm or 80mm)(縦:40mm or 60mm)
高温試験(50℃~125℃±3℃)
SYNAX S9 BGA/CSP/TSOP/QFP/QFN:□3~□50(厚さ0.6mm~5mm/リードピッチ0.4mm~/ボールピッチ0.5mm~)
※コンタクトレイアウトなどにより制限あり
1,2,4,8個測
高温モード(50.0℃~90.0℃±2℃/90.1℃~130.0℃±3℃/130.1℃~150.0℃±5℃)
S9PulsCC BGA/CSP/TSOP/QFP/QFN:□3~□50(厚さ0.6mm~5mm/リードピッチ0.4mm~/ボールピッチ0.5mm~)
※コンタクトレイアウトなどにより制限あり
1,2,4,8,16個測
高温モード(50.0℃~90.0℃±2℃/90.1℃~130.0℃±3℃/130.1℃~150.0℃±5℃)
低温モード(-40℃±2℃)
ADVANTEST M4741A QFP/BGA/CSP:□5~□50(厚さ1.0mm~4.5mm)
2個測定(2×1)時:□5~□50
4個測定(2×2)時:□5~□35
高温モード(50.0℃~90.0℃±2℃/90.1℃~125.0℃±3℃)
M6741A TSOP typeI, TSOPtypeII, SOJ, SOP, QFP
最大 64 個同時測定
高温モード(50.0℃~90.0℃±2℃/–30℃ ∼ +49.9℃ , 90.1℃~125.0℃±3℃)
用途 メーカー 機種名 主な仕様
無塵恒温器
(ベーク炉)
エスペック PVHC-231M
PVHC-231
(外囲温度+ 60)℃~+ 350℃
PVC-230
PVC-231
(外囲温度+ 60)℃~+ 200℃
恒温器
(ベーク炉)
エスペック ST-120 (外囲温度+ 20)℃~+ 200℃
PH-300 (外囲温度+ 20)℃~+ 200℃
高速針跡検査装置 東京エレクトロン TELPADS ウェハサイズΦ8”,Φ12”
外観検査装置 オリンパス AL3100 ウェハサイズΦ12”
外観検査装置 オリンパス AL110-LMB86 ウェハサイズΦ6”,Φ8”
ウエハクリーナー ハーモテック HWC-0812-11 ウェハサイズΦ8”,Φ12”
スキャナー KLA T390 QFP/SOP/QFN/SON
安永 LI-920 QFP、SOP :3×3~30×30mm
BGA、LGA、QFN:3×3~30×30mm
外観検査テーピング装置 藤堂製作所 TTI-1500W 特殊デバイス用
トレイ to テープ(エンボスキャリアテープ幅12mm/ カバーテープ幅9.5mm)
永田精機 NK8300 WLCSP用(8インチ)
ウエハ to テープ(エンボスキャリアテープ幅8mm~12mm)
トレイ to テープ(エンボスキャリアテープ幅8mm~12mm)
NK9200 QFP/SOP/QFN/SON
トレイ to トレイ または、 トレイ to テープ(エンボスキャリアテープ幅8mm~16mm)
KLA T790 QFP/SOP/BGA/QFN/SON
トレイ to トレイ または、 トレイ to テープ
エンボスキャリアテープ幅8mm~56mm
カバーテープ幅:5㎜~20mm
インテープ外観検査装置 Ai-Yi-Fu Limited ITAS V4 エンボスキャリアテープ幅: 12mm / 16 mm
テープtoトレイ移載機 PALMEC RT-3000 テープからトレイへの移載(アンテーピング)可能
チューブtoトレイ移載機 Chang-Yu Technology H9100 SOP8L(150mil) / SOP8L(208mil) / SOP16L(300mil
チューブからJEDECトレイへ移載
用途 メーカー 機種名 主な仕様
バックグラインド装置 岡本工作機械製作所(株) GNX200B 6/8インチウエハ対応
テープ張付機 (株)タカトリ ATM-1100G 6/8インチウエハ対応
テープ剥し機 (株)タカトリ ATRM-2300 6/8インチウエハ対応